沈陽科儀高真空電子東及熱阻薄膜沉積系統 真空室結構:U形前開門 真空室尺寸:500x500x600mm 極限真空度:≤6.67E-5Pa 沉積源:4個11cc坩堝 樣品尺寸,溫度:φ4英寸,1片,最高800C 占地面積(長x寬x高):約2.7米x1.7米x2.1米 電控描述:全自動 工藝:片內膜厚均勻性:≤+3% 特色參數:樣品可自轉,轉速可調
沈陽科儀高真空磁控濺射薄膜沉積系統--PVD500 真空室結構:方形前開門 真空室尺寸:p500x500x500mm 極限真空度:≤3.0E-5Pa 沉積源:永磁靶4套,2英寸 樣品尺寸,溫度:p4英寸,1片,最高800°C 占地面積(長x寬x高):約2米x1.7米x2米 電控描述:全自動 工藝:片內膜厚均勻性:≤3%
沈陽科儀高真空磁控濺射薄膜沉積系統--TRP450 真空室結構:圓筒形前開門 真空室尺寸:φ450x400mm 極限真空度:≤6.6E-6Pa 沉積源:永磁靶3套,2英寸,可以向上濺射或向下濺射。 樣品尺寸,溫度:φ4英寸,1片,最高800C 占地面積(長x寬x高):約1米x1.8米x2米 電控描述:全自動 工藝:片內膜厚均勻性:≤3%
CT3001A微電流電池測試系統產品特點:可用于鋰電池及超級電容測試等。模塊化設計,每個模塊為獨立的8個通道
CT3001B 大電流電池測試系統產品特點:可用于動力電池及動力電池組的化成、分容、檢測等。模塊化設計,每個模塊為獨立的1—8個通道。